SEM进行表面形貌和成分分析的原理是什么?

2023-03-10 17:28:26 5

SEM(扫描电子显微镜)可以通过扫描样品表面,获得高分辨率的图像和信号。这些图像和信号可以用来分析样品的表面形貌和成分,原理主要基于以下两点:

1.电子束相互作用原理

SEm中发射的电子束与样品表面相互作用,这种相互作用包括以下过程:电子束激发机械振动、激发电磁振动等,并与固体原子结构相互作用。因此,当电子束与样品表面相互作用时,会发生反射、散射、吸收、透射等现象,这些现象可以用来研究样品的表面形貌和成分。

2.图像处理原理

SEM获得的信号有很多种,包括二次电子、反射电子、背散射电子、能量色散谱等等。这些信号可以通过图像处理得到高分辨率的图像,并进行形貌和成分分析。例如,二次电子显像可以显示样品表面形貌和纹理,而能量色散谱可以分析样品的成分。因此,SEM可以通过这些信号和图像处理技术来分析样品的表面形貌和成分。

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